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Manfred Lacher
Mikrosystemtechnologie
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Aktuelles

Podcasts über Wissenschaft

Mit Unterstützung der Stadt Bonn entsteht derzeit eine Podcast-Reihe. Der erste Podcast zur Kryo-Elektronenmikroskopie ist fertig. Weitere Podcasts werden bald folgen.

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„Strukturen – Visuelle Reize und Signale“

Eröffnung einer Gemeinschaftsausstellung im Forschungszentrum caesar am Sonntag, den 6. Mai 2012, 11.00 Uhr

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Fotolithografie

Ausstattung:

Belacker Delta 20 T2 (BLE)

Technische Daten
Delta 20 T2 Spin Coater:

  • Substratgröße: max. 8'' rund / 5'' x 5''
  • 1 - 6.000 U/min
  • Lackpumpe (Delta 32)

Technische Daten
Delta 150 VPO HMDS Hotplate:

  • Substratgröße: max. 6'' rund / 4'' x 4''
  • Max. Temperatur: 150 °C, Genauigkeit ± 2 °C bei 100 °C
  • bis zu 10 Rezepte mit je 10 Prozessschritten möglich
  • Stickstoffspülung
  • HMDS-Vergaser

Belacker OPTIspin ST22, SSE

Technische Daten
OPTOspin ST22 Spin Coater:

  • Substratgröße: max. 8'' rund / 6'' x 6''
  • 1 - 10.000 U/min
  • Max. Beschleunigung: 50.000 rpm/sec
  • Speicherung von 30 Programmen möglich
  • Lackpumpe
  • Randablackung mittels EBR-Düse

Technische Daten
Hotplate OPTIhot HB20:

  • Substratgröße: max. 8'' rund / 6'' x 6''
  • Max. Temperatur: 300 °C
  • bis zu 20 Rezepte mit je 38 Prozessschritten möglich
  • Stickstoffspülung
  • "Lifting pins" zum Be- und Entladen des Wafers bzw. zur Simulation einer Temperaturrampe
  • Bake unter Stickstoff-blow

Mask-Aligner MA 6

Technische Daten
Delta 20 T2 Spin Coater:

  • Substratgröße: max. 8'' rund / 5'' x 5''
  • 1 - 6.000 U/min
  • Lackpumpe (Delta 32)

Technische Daten
Delta 150 VPO HMDS Hotplate:

  • Substratgröße: max. 6'' rund / 4'' x 4''
  • Max. Temperatur: 150 °C, Genauigkeit ± 2 °C bei 100 °C
  • bis zu 10 Rezepte mit je 10 Prozessschritten möglich
  • Stickstoffspülung
  • HMDS-Vergaser

Bond-Aligner BA6 und Bonder SB6VAC, Süss MicroTec

Technische Daten
Bond-Aligner BA6:

  • Vergrößerung: 90fach (290 fach auf 12'' Monitor)
  • Auflösung: 2,6 µm
  • Sehfeld: 0,83 x 1,1 mm2

Technische Daten
Bonder SB 6 VAC:

  • Bondprozesse:
    Anodisches Bonden
    Diffusions-Bonden
  • Substratgröße: max. 6''
  • Druck: 5 x 10-5 mbar - 2 bar
Anodisches Bonden

Beispiel für anodisches Bonden von Pyrex-Glas auf 4”-Si-Wafer mit einer sternförmigen Elektrode:
nach 5 Sekunden nach 20 Sekunden nach 2.5 Minuten nach 8 Minuten

Quelle: Süss MicroTec




SEM 1430 VP, LEO

Technische Daten
SEM 1430 VP:

  • Kathode: LaB6
  • Vakuumsystem: Turbopumpe/Ionengetterpumpe für Gun-Bereich
  • Vakuum: VP-System: isolierende Proben können ohne Coating im VP-Modus untersucht werden (Gasdruck in Kammer von 0-3 Torr)
  • Probenkammer: Wafer bis 4'', Proben bis 4 cm Höhe
  • Auflösung: ca. 10 nm
  • Sekundärelektronendetektor
  • 4 Quadranten BS Detektor (Backscatter)
  • Kamera für Probenkammer
  • Umfangreiche Probenkammer
  • Aktives Schwingungsdämpfungssystem

Raith-System
ELPHY Plus:

  • GDSII Software
  • A/D-Wandler
  • Beam Blanker