Reinraum

Der Reinraum bei caesar ist entsprechend den Anforderungen in unterschiedliche Bereiche mit Reinheitsklassen von 10 bis 1000 eingeteilt: Klasse 10 bedeutet, dass maximal 10 Partikel mit maximalem Durchmesser von 0,5 Mikrometer pro Kubikfuß erlaubt sind. Zum Vergleich: In einem Wohnzimmer sind etwa 200.000 Partikel pro Kubikfuß enthalten.
Die Größe des Reinraumes beträgt insgesamt 460 m² und ist in folgende Arbeitsbereiche eingeteilt:

• Fotolithografie
• Beschichtung und Diffusion
• Trocken- und Nassätzen
• Mikrogalvanik
• Schicht- und Oberflächencharakterisierung

Näheres zur Forschung und Entwicklung im Reinraum finden Sie hier.