Ihre Ansprechperson:
Manfred Lacher
Mikrosystemtechnologie
Aktuelles
Podcasts über Wissenschaft
Mit Unterstützung der Stadt Bonn entsteht derzeit eine Podcast-Reihe. Der erste Podcast zur Kryo-Elektronenmikroskopie ist fertig. Weitere Podcasts werden bald folgen.
[mehr]„Strukturen – Visuelle Reize und Signale“
Eröffnung einer Gemeinschaftsausstellung im Forschungszentrum caesar am Sonntag, den 6. Mai 2012, 11.00 Uhr
[mehr]Quicklinks
Schicht- und Oberflächencharakterisierung
Ausstattung:
- Mechanisches Profilometer (Tencor)
- Optisches Profilometer (FRT)
- Ellipsometer (Sentech)
- Reflektometer (Sentech)
- Plasma-Verarscher (TePla)
- Spitzenmessplatz
- Rapid Thermal Annealing
- Drahtbonder
